光掩模的标准规格

数据格式

  • MEBES
  • JEOL
  • MIC
  • VSB
  • Gerber
  • GDS
  • DXF
  • DWG
  • BMP
  • 欢迎洽询上述以外的格式。

尺寸

底板尺寸 厚度 材质 遮光膜材质 遮光膜厚度 可绘图区域
152×152mm
(6×6英寸)
6.35mm
(0.25英寸)
Qz Cr 105nm 146×146mm
Qz Cr 73nm 146×146mm
Qz MoSi (KrF-PSM) (透过率6%@KrF) 146×146mm
Qz MoSi (ArF-PSM) (透过率6%@ArF) 146×146mm
3.05mm
(0.12英寸)
Qz Cr 105nm 146×146mm
2.30mm
(0.09英寸)
Qz Cr 105nm 146×146mm
127×127mm
(5×5英寸)
4.60mm
(0.18英寸)
Qz Cr 105nm 120×120mm
2.30mm
(0.09英寸)
Qz Cr 105nm 120×120mm

标准规格

激光绘图

项目 规格
Qz材料
尺寸精度 设计值 ± 0.025um
总间距精度 设计值 ± 0.070um
定位精度 设计值 ± 0.035um
图案缺陷 0.15um 0个
最小尺寸 Line图案 0.7um,
Hole图案 1.0um

50kv电子束绘图

项目 规格
Qz材料
尺寸精度 设计值 ± 0.015um
总间距精度 设计值 ± 0.050um
定位精度 设计值 ± 0.025um
图案缺陷 0.10um 0个
最小尺寸 Line图案 0.4um,
Hole图案 0.6um
  • 欢迎洽询上述以外的格式。