光掩模的标准规格
数据格式
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- GDS
- DXF
- DWG
- BMP
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尺寸
底板尺寸 | 厚度 | 材质 | 遮光膜材质 | 遮光膜厚度 | 可绘图区域 |
---|---|---|---|---|---|
152×152mm (6×6英寸) |
6.35mm (0.25英寸) |
Qz | Cr | 105nm | 146×146mm |
Qz | Cr | 73nm | 146×146mm | ||
Qz | MoSi (KrF-PSM) | (透过率6%@KrF) | 146×146mm | ||
Qz | MoSi (ArF-PSM) | (透过率6%@ArF) | 146×146mm | ||
3.05mm (0.12英寸) |
Qz | Cr | 105nm | 146×146mm | |
2.30mm (0.09英寸) |
Qz | Cr | 105nm | 146×146mm | |
127×127mm (5×5英寸) |
4.60mm (0.18英寸) |
Qz | Cr | 105nm | 120×120mm |
2.30mm (0.09英寸) |
Qz | Cr | 105nm | 120×120mm |
标准规格
激光绘图
项目 | 规格 |
---|---|
Qz材料 | |
尺寸精度 | 设计值 ± 0.025um |
总间距精度 | 设计值 ± 0.070um |
定位精度 | 设计值 ± 0.035um |
图案缺陷 | 0.15um 0个 |
最小尺寸 | Line图案 0.7um, Hole图案 1.0um |
50kv电子束绘图
项目 | 规格 |
---|---|
Qz材料 | |
尺寸精度 | 设计值 ± 0.015um |
总间距精度 | 设计值 ± 0.050um |
定位精度 | 设计值 ± 0.025um |
图案缺陷 | 0.10um 0个 |
最小尺寸 | Line图案 0.4um, Hole图案 0.6um |
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